行列表記による部分コヒーレント結像理論と半導体露光装置における超解像方法への応用

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Material Type: 博士論文
Title: 行列表記による部分コヒーレント結像理論と半導体露光装置における超解像方法への応用
Title Transcription: ギョウレツヒョウキニヨルブブンコヒーレントケツゾウリロントハンドウタイロコウソウチニオケルチョウカイゾウホウホウエノオウヨウ
Author/Editor: 山添賢治 [著]
Author Heading: 山添, 賢治ヤマゾエ, ケンジ
Publication, Distribution, etc.: [山添賢治]
Publication Date: [2012]
Publication Date (W3CDTF): 2012
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京大学
Date Granted: 平成24年4月19日
Date Granted (W3CDTF): 2012
Dissertation Number: 乙第17673号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2013-N58
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 025152359
http://id.ndl.go.jp/bib/025152359
Bibliographic Record Category (NDL): 213