Silicon resonator formed on LTCC substrate with LSI integration compatibility for application of timing device

• Material Type: 博士論文
• Title: Silicon resonator formed on LTCC substrate with LSI integration compatibility for application of timing device
• Author/Editor: Nguyen Van Toan [著]
• Author Heading: Nguyen Van Toan グェン ヴァン トゥアン
• Publication, Distribution, etc.: [Nguyen Van Toan]
• Publication Date: [2014]
• Publication Date (W3CDTF): 2014
• Extent: 1冊
• Alternative Title: タイミングデバイス応用のためのLSI集積化と整合性を持つLTCC基板上に形成したシリコン振動子 タイミング デバイス オウヨウ ノ タメ ノ LSI シュウセキカ ト セイゴウセイ オ モツ LTCC キバンジョウ ニ ケイセイシタ シリコン シンドウシ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成26年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2014
• Dissertation Number: 甲第15786号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2014-B957
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 025867062; http://id.ndl.go.jp/bib/025867062
• Bibliographic Record Category (NDL): 213