博士論文

Mnシリケートからなる拡散バリア膜の化学的堆積方法の研究

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Mnシリケートからなる拡散バリア膜の化学的堆積方法の研究

Call No. (NDL)
UT51-2014-C23
Bibliographic ID of National Diet Library
025873211
Material type
博士論文
Author
松本賢治 [著]
Publisher
[松本賢治]
Publication date
[2014]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東北大学,博士(工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
Mnシリケートからなる拡散バリア膜の化学的堆積方法の研究
Title Transcription
Mn シリケート カラ ナル カクサン バリアマク ノ カガクテキ タイセキ ホウホウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
松本賢治 [著]
Author Heading
松本, 賢治 マツモト, ケンジ
Publication, Distribution, etc.
[松本賢治]
Publication Date
[2014]
Publication Date (W3CDTF)
2014
Extent
1冊
Degree grantor/type
東北大学