Mnシリケートからなる拡散バリア膜の化学的堆積方法の研究

Mnシリケートからなる拡散バリア膜の化学的堆積方法の研究

Call No. (NDL): UT51-2014-C23
Bibliographic ID of National Diet Library: 025873211

Material type: 博士論文

Author: 松本賢治 [著]

Publisher: [松本賢治]

Publication date: [2014]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東北大学,博士(工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: Mnシリケートからなる拡散バリア膜の化学的堆積方法の研究
Title Transcription: Mn シリケートカラナルカクサンバリアマクノカガクテキタイセキホウホウノケンキュウ
Author/Editor: 松本賢治 [著]
Author Heading: 松本, 賢治マツモト, ケンジ
Publication, Distribution, etc.: [松本賢治]
Publication Date: [2014]
Publication Date (W3CDTF): 2014
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成26年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2014
Dissertation Number: 甲第15851号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2014-C23
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 025873211
http://id.ndl.go.jp/bib/025873211
Bibliographic Record Category (NDL): 213