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現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス 第2版

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現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

第2版

Call No. (NDL)
ND371-L60
Bibliographic ID of National Diet Library
026092712
Material type
図書
Author
小島啓安 著
Publisher
日刊工業新聞社
Publication date
2015.2
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
437p ; 21cm
NDC
549.8
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    549.8/G
    Book Registration Number:
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    549.8-コシ-1099648
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  • 岡山県立図書館

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    549.8/コシ15/
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Paper

Material Type
図書
ISBN
978-4-526-07366-3
Title Transcription
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
Author/Editor
小島啓安 著
Edition
第2版
Author Heading
小島, 啓安 コジマ, ヒロヤス ( 01137042 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2015.2
Publication Date (W3CDTF)
2015