現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス第2版

現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

第2版

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Material Type: 図書
ISBN: 978-4-526-07366-3
Title: 現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
Title Transcription: ゲンバノスパッタリングハクマクキューアンドエー : ハンノウセイコウソクスパッタノジツムアドバイス
Author/Editor: 小島啓安著
Edition: 第2版
Author Heading: 小島, 啓安コジマ, ヒロヤス ( 01137042 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : 日刊工業新聞社
Publication Date: 2015.2
Publication Date (W3CDTF): 2015
Extent: 437p
Size: 21cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 薄膜ハクマク ( 00562857 )Authorities
スパッタリングスパッタリング ( 01155699 )Authorities
NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (Bibliography): 文献あり索引あり
Price: 3300円
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-L60
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 026092712
http://id.ndl.go.jp/bib/026092712
National Bibliography No. (JPNO): 22534403
TOHAN MARC No.: 33222113
Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111