低炭素社会を実現する超低電力デバイスプロジェクト (EUV (極端紫外線) 露光システムに必要な評価基盤技術構築) 事業報告書平成23年度

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Material Type: 電子資料
Title: 低炭素社会を実現する超低電力デバイスプロジェクト (EUV (極端紫外線) 露光システムに必要な評価基盤技術構築) 事業報告書
Title Transcription: テイタンソシャカイオジツゲンスルチョウテイデンリョクデバイスプロジェクト ( EUV ( キョクタンシガイセン ) ロコウシステムニヒツヨウナヒョウカキバンギジュツコウチク ) ジギョウホウコクショ
Volume: 平成23年度
Publication, Distribution, etc.: [つくば] : EUVL基盤開発センター
Publication Date: 2014.3
Publication Date (W3CDTF): 2014
Extent: DVD-ROM 1枚
Size: 12cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Note (Material Type): [電子資料]
Computer File Characteristics: テキスト・データ
Note (Computer File Characteristics): PDF形式
NDLC: YH253
Target Audience: 一般
Note (General): 経済産業省の委託による
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: YH253-L481
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 026389167
http://id.ndl.go.jp/bib/026389167
National Bibliography No. (JPNO): 22578817
Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 143