走査型電子ビーム・レーザビーム誘起電流測定装置の開発と半導体デバイス評価技術に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 走査型電子ビーム・レーザビーム誘起電流測定装置の開発と半導体デバイス評価技術に関する研究
Title Transcription: ソウサガタデンシビームレーザビームユウキデンリュウソクテイソウチノカイハツトハンドウタイデバイスヒョウカギジュツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 高洲信一 [著]
Author Heading: 高洲, 信一タカス, シンイチ
Publication, Distribution, etc.: [高洲信一]
Publication Date: [2013]
Publication Date (W3CDTF): 2013
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 福岡大学
Date Granted: 平成25年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2013
Dissertation Number: 甲第1427号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2015-C102
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 027078727
http://id.ndl.go.jp/bib/027078727
Bibliographic Record Category (NDL): 213