Scanning probe-based high accuracy on-machine surface profiling techniques

• Material Type: 博士論文
• Title: Scanning probe-based high accuracy on-machine surface profiling techniques
• Author/Editor: Shigeaki Goto [著]
• Author Heading: 後藤, 成晶 ゴトウ, シゲアキ
• Publication, Distribution, etc.: [Shigeaki Goto]
• Publication Date: [2016]
• Publication Date (W3CDTF): 2016
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 走査プローブ型高精度オンマシン形状測定に関する研究 ソウサ プローブガタ コウセイド オンマシン ケイジョウ ソクテイ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成28年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2016
• Dissertation Number: 甲第16965号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2016-B258
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 027816738; http://id.ndl.go.jp/bib/027816738
• Bibliographic Record Category (NDL): 213