多重トレンチ構造を用いたオンチップ絶縁デバイスの解析モデルとその実証に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 多重トレンチ構造を用いたオンチップ絶縁デバイスの解析モデルとその実証に関する研究
Title Transcription: タジュウトレンチコウゾウオモチイタオンチップゼツエンデバイスノカイセキモデルトソノジッショウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 武内勇介 [著]
Author Heading: 武内, 勇介タケウチ, ユウスケ
Publication, Distribution, etc.: [武内勇介]
Publication Date: [2016]
Publication Date (W3CDTF): 2016
Extent: 1冊
Alternative Title: A study of analytical model of on-chip integrated isolation device with multiple trench isolation structure and its verification
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成28年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2016
Dissertation Number: 甲第17035号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2016-B301
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 027820007
http://id.ndl.go.jp/bib/027820007
Bibliographic Record Category (NDL): 213