膜応力制御技術を用いたマイクロデバイスの作製プロセスに関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 膜応力制御技術を用いたマイクロデバイスの作製プロセスに関する研究
Title Transcription: マクオウリョクセイギョギジュツオモチイタマイクロデバイスノサクセイプロセスニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 鈴木裕輝夫 [著]
Author Heading: 鈴木, 裕輝夫スズキ, ユキオ
Publication, Distribution, etc.: [鈴木裕輝夫]
Publication Date: [2016]
Publication Date (W3CDTF): 2016
Extent: 1冊
Alternative Title: Development of fabrication process technology for microdevices using film stress control techniques
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成28年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2016
Dissertation Number: 甲第17036号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2016-B302
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 027820018
http://id.ndl.go.jp/bib/027820018
Bibliographic Record Category (NDL): 213