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プラズマプロセスの基礎と先端分野への応用 (プラズマエレクトロニクス講習会 ; 第29回)

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プラズマプロセスの基礎と先端分野への応用

(プラズマエレクトロニクス講習会 ; 第29回)

Call No. (NDL)
MC241-L21
Bibliographic ID of National Diet Library
029350861
Material type
図書
Author
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編
Publisher
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
Publication date
2018.11
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
91p ; 26cm
NDC
427.6
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Notes on use

Note (General):

会期・会場: 2018年11月20日 東京大学本郷キャンパス武田先端知ビル「武田ホール」奥付のタイトル: 第29回プラズマエレクトロニクス講習会テキスト

Detailed bibliographic record

Contents:

プラズマ技術の基礎プラズマ生成制御 / 金子俊郎 著発光分光によるプラズマ診断 / 佐々木浩一 著...

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
ISSN (series)
2189-8596
Title Transcription
プラズマ プロセス ノ キソ ト センタン ブンヤ エノ オウヨウ
Author/Editor
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編
Author Heading
応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
Publication Date
2018.11
Publication Date (W3CDTF)
2018