超LSIの製造技術 制御・エレクトロニクス. 第4巻 超LSIの製造技術 2

• Material Type: 映像資料
• Title: 超LSIの製造技術 制御・エレクトロニクス
• Title Transcription: チョウLSI ノ セイゾウ ギジュツ
• Volume: 第4巻 超LSIの製造技術 2
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 日刊工業新聞社映像グループ
• Publication Date: [20--]
• Extent: ビデオディスク 1枚 (37分)
• Other physical details: DVD
• Place of Publication (Country Code): JP
• Note (Material Type): [映像資料]
• NDLC: YL321
• Target Audience: 一般
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: YL321-M14714
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 030328134; http://id.ndl.go.jp/bib/030328134
• National Bibliography No. (JPNO): 23441515
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 161

• Contents: 熱酸化(SiO₂)膜の形成方法とその性質/ゲート酸化膜の形成とその性質/多結晶Si<Poly Si>膜の形成方法とその性質/素子間分離/多層配線(Provided by: 国立国会図書館蔵書)