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グローバルスタンダードへの挑戦 : 300mm半導体工場へ向けた標準化の歴史

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グローバルスタンダードへの挑戦 : 300mm半導体工場へ向けた標準化の歴史

Call No. (NDL)
ND371-M77
Bibliographic ID of National Diet Library
031621349
Material type
図書
Author
小宮啓義, 本間三智夫, 林義宣, 川島憲一, 大竹茂行, 奥田健一郎 編集
Publisher
SEMIジャパン
Publication date
2003.5
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
226 p ; 21 cm
NDC
549.8
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Notes on use

Note (General):

監修: 小宮啓義

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
グローバル スタンダード エノ チョウセン : 300mm ハンドウタイ コウジョウ エ ムケタ ヒョウジュンカ ノ レキシ
Author/Editor
小宮啓義, 本間三智夫, 林義宣, 川島憲一, 大竹茂行, 奥田健一郎 編集
Author Heading
編者 : 小宮, 啓義, 1936- コミヤ, ヒロヨシ, 1936- ( 00958514 )Authorities
編者 : 本間, 三智夫 ホンマ, ミチオ ( 00807683 )Authorities
編者 : 林, 義宣, 1941- ハヤシ, ヨシノブ, 1941- ( 031705308 )Authorities
編者 : 川島, 憲一, 1945- カワシマ, ケンイチ, 1945- ( 031705341 )Authorities
編者 : 大竹, 茂行 オオタケ, シゲユキ ( 031705347 )Authorities
編者 : 奥田, 健一郎 オクダ, ケンイチロウ ( 031705350 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2003.5
Publication Date (W3CDTF)
2003
Extent
226 p
Size
21 cm