プラズマプロセスの基礎と先端応用技術

• Material Type: 図書
• ISSN (series): 2189-8596
• Title: プラズマプロセスの基礎と先端応用技術
• Title Transcription: プラズマ プロセス ノ キソ ト センタン オウヨウ ギジュツ
• Series Title: プラズマエレクトロニクス講習会 ; 第32回
• Author/Editor (Series Title): 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編集
• Author Heading: 編集責任者 ： 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: [東京] : 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 (出版)
• Publication Date: 2021.11
• Publication Date (W3CDTF): 2021
• Extent: 104 p
• Size: 26 cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Content Type: テキスト
• Media Type: 機器不用
• Carrier Type: 冊子
• Subject Heading: プラズマ プラズマ ( 00569207 )Authorities
• NDC 10th ed.: 427.6 : Electricity and magnetism
• NDLC: MC241
• Target Audience: 一般
• Note (General): 会期・会場: 2021年11月12日 Zoomウェビナーによるネット開催
• Note (Bibliography): 文献あり
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: MC241-M15
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 031782527; http://id.ndl.go.jp/bib/031782527
• National Bibliography No. (JPNO): 23607839
• Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules 2018 Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

• Contents: 非平衡プラズマの生成と温度・エネルギー制御の基礎 / 金子俊郎プラズマ計測技術の基礎・応用の最近の動向 / 赤塚洋ドライエッチング技術の進展と今後の展望 / 野尻一男...