次世代洗浄技術編 (技術と特許をつなぐパテントガイドブック. 半導体製造技術シリーズ)

次世代洗浄技術編

(技術と特許をつなぐパテントガイドブック. 半導体製造技術シリーズ)

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Material Type: 図書
Title: 次世代洗浄技術編
Title Transcription: ジセダイセンジョウギジュツヘン
Series Title: 技術と特許をつなぐパテントガイドブック. 半導体製造技術シリーズ
Publication, Distribution, etc.: 東京 : ネオテクノロジー (出版)
Publication Date: 2009.10
Publication Date (W3CDTF): 2009
Extent: 159 p, [1] 枚 (折り込み)
Size: 30 cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Content Type: テキスト
Media Type: 機器不用
Carrier Type: 冊子
Subject Heading: 半導体--特許--日本ハンドウタイトッキョニホン ( 001109797 )Authorities
洗浄--特許--日本センジョウトッキョニホン ( 001195238 )Authorities
NDC 10th ed.: 549.8 : Electronic engineering
NDLC: M351
ND371
Target Audience: 一般
Price: 50000円
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: M351-M218
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 032039228
http://id.ndl.go.jp/bib/032039228
National Bibliography No. (JPNO): 23663536
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules 2018 Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111