「化合物半導体の機械加工・洗浄技術」調査報告書

• Material Type: 電子資料
• Title: 「化合物半導体の機械加工・洗浄技術」調査報告書
• Title Transcription: 「 カゴウブツ ハンドウタイ ノ キカイ カコウ ・ センジョウ ギジュツ 」 チョウサ ホウコクショ
• Series Title: ニーズ即応型技術動向調査 : 機械分野、電気・電子分野 ; 令和6年度
• Author Heading: 責任刊行者 ： 特許庁 トッキョチョウ ( 00267488 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 特許庁 (出版)
• Publication Date: 2025.2
• Publication Date (W3CDTF): 2025
• Extent: DVD-ROM 1枚
• Size: 12 cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Content Type: テキスト
• Media Type: コンピュータ
• Carrier Type: コンピュータ・ディスク
• Digital File Characteristics: ファイル種別 : テキスト・ファイル; デジタル・コンテンツ・フォーマット : PDF
• NDLC: YH253
• Target Audience: 一般
• Note (General): 請負先: エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ
• Price: 非売品
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: YH253-R613
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 034086660; http://id.ndl.go.jp/bib/034086660
• National Bibliography No. (JPNO): 24146661
• Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules 2018 Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 143