ＲＦ マグネトロンスパッタ法による Ａｕ薄膜－Ｓｉ接触のショットキー障壁 35 (秋田工業高等専門学校研究紀要)
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- Material Type
- 記事
- Title Transcription
- ＲＦ まぐねとろんすぱったほうによる Ａｕ はくまく Ｓｉせっしょくのしょっときーしょうへき
- Volume
- 35
- Author/Editor
- 浅野 清光，千田 誠
- Series Title
- Author Heading
- 浅野 清光，千田 誠 あさの きよみつ ちだ まこと
- Publication Date
- 平成12年2月
- Publication Date (W3CDTF)
- 2000-02
- Pages
- 22～27ページ