ＲＦ マグネトロンスパッタ法による 金属薄膜－Ｓｉ接触の電気的特性 36 (秋田工業高等専門学校研究紀要)
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- Material Type
- 記事
- Title Transcription
- ＲＦ まぐねとろんすぱったほうによる きんぞくはくまく Ｓｉせっしょくのでんきてきとくせい
- Volume
- 36
- Author/Editor
- 千田 誠，本間 弘樹，浅野 清光
- Series Title
- Author Heading
- 千田 誠，本間 弘樹，浅野 清光 ちだ まこと ほんま ひろき あさの きよみつ
- Publication Date
- 平成13年2月
- Publication Date (W3CDTF)
- 2001-02
- Pages
- 17～24ページ