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光媒体TiO2 薄膜によるSi表面の低温酸化に関する研究-ナノ光媒体リソグラフへの応用- 40 (秋田工業高等専門学校研究紀要)

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光媒体TiO2 薄膜によるSi表面の低温酸化に関する研究-ナノ光媒体リソグラフへの応用- 40(秋田工業高等専門学校研究紀要)

Material type
記事
Author
藤本 健治,浅野 清光,岡村 澄夫
Publisher
-
Publication date
平成17年2月
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
NDC
377
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Digital

Material Type
記事
Title Transcription
ひかりばいたいTiO2 はくまくによるSiひょうめんのていおんさんかにかんするけんきゅう なのこうばいたいりそぐらふえのおうよう
Volume
40
Author/Editor
藤本 健治,浅野 清光,岡村 澄夫
Author Heading
藤本 健治,浅野 清光,岡村 澄夫 ふじもと けんじ あさの きよみつ おかむら すみお
Publication Date
平成17年2月
Publication Date (W3CDTF)
2005-02
Pages
75~82ページ