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超硬質窒化物合成のための高密度ヘリコン波プラズマ励起・超活性化成膜プロセスの開発

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超硬質窒化物合成のための高密度ヘリコン波プラズマ励起・超活性化成膜プロセスの開発

Material type
図書
Author
研究代表者 節原裕一
Publisher
節原裕一
Publication date
2001.2
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

課題番号: 10558065研究分担者: 三宅正治, 熊谷正夫, 緒方潔

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウ コウシツ チッカブツ ゴウセイ ノ タメ ノ コウミツド ヘリコンハ プラズマレイキ チョウ カッセイ カセイマク プロセス ノ カイハツ
Author/Editor
研究代表者 節原裕一
Author Heading
節原, 裕一 セツハラ, ユウイチ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2001.2
Publication Date (W3CDTF)
2001
Alternative Title
平成10年度~平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
Place of Publication (Country Code)
ja