将来の超大規模集積回路製造における絶縁膜のための環境調和型プラズマエッチング装置に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 将来の超大規模集積回路製造における絶縁膜のための環境調和型プラズマエッチング装置に関する研究
Title Transcription: ショウライノチョウダイキボシュウセキカイロセイゾウニオケルゼツエンマクノタメノカンキョウチョウワガタプラズマエッチングソウチニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 高橋俊次 [著]
Author Heading: 高橋, 俊次タカハシ, シュンジ
Publication, Distribution, etc.: [出版者不明]
Publication Date: [2011]
Publication Date (W3CDTF): 2011
Size: 30cm
Text Language Code: ja
Target Audience: 一般
Note (General): 名古屋大学大学院工学研究科2010年度博士論文
学位の種類: 博士(工学)
学位授与年月日: 2011-03-25
報告番号: 甲第9265号
学位記番号: 工博第2471号
Related Material (URI): https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB12396147#entity
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : CiNii Research
Original Data Provider (Database): CiNii Books
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NCID: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB12396147 : BB12396147