リソグラフィ限界を超えた制御性の良いシリコンナノデバイスの作製に関する研究

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Material Type: 図書
Title: リソグラフィ限界を超えた制御性の良いシリコンナノデバイスの作製に関する研究
Title Transcription: リソグラフィゲンカイオコエタセイギョセイノヨイシリコンナノデバイスノサクセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 研究代表者、平本俊郎
Author Heading: 平本, 俊郎ヒラモト, トシロウ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA11514994
Publication, Distribution, etc.: 平本俊郎
Publication Date: 2000.3
Publication Date (W3CDTF): 2000
Size: 30cm
Alternative Title: 平成10年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)一般)研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)一般)研究成果報告書
Place of Publication (Country Code): ja
Target Audience: 一般
Note (General): 研究分担者: 鳳紘一郎、藤島実
Related Material (URI): https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA49221697#entity
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : CiNii Research
Original Data Provider (Database): CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NCID: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA49221697 : BA49221697