シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価

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Note (General)：: 名古屋大学大学院工学研究科1999年度博士論文学位の種類: 博士 (工学)学位授与年月日: 2000-03-27...

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Material Type: 図書
Title: シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価
Title Transcription: シールドガタアークイオンプレーティングホウニヨルタンソケイコウシツウスマクノサクセイトソノコウゾウオヨビキカイテキセイシツヒョウカ
Author/Editor: 田島信宏 [著]
Author Heading: 田島, 信宏タジマ, ノブヒロ
Publication, Distribution, etc.: [出版者不明]
Publication Date: [1999]
Publication Date (W3CDTF): 1999
Size: 30cm
Text Language Code: ja
Target Audience: 一般
Note (General): 名古屋大学大学院工学研究科1999年度博士論文
学位の種類: 博士 (工学)
学位授与年月日: 2000-03-27
報告番号: 甲第4691号
学位記番号: 工博第1398号
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Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : CiNii Research
Original Data Provider (Database): CiNii Books
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NCID: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB13918463 : BB13918463