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イオンビームプロセスによるB-C-N系ハイブリッド超硬質コーティング膜の創成

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イオンビームプロセスによるB-C-N系ハイブリッド超硬質コーティング膜の創成

Material type
図書
Author
松室昭仁[ほか著]
Publisher
[出版者不明]
Publication date
2001.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
31cm
NDC
-
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書名は表紙による課題番号:11650124研究分担者: 森敏彦, 中本剛

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
イオン ビーム プロセス ニヨル B-C-Nケイ チョウコウシツ コーティング マク ノ ソウセイ
Author/Editor
松室昭仁[ほか著]
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2001.3
Publication Date (W3CDTF)
2001
Size
31cm
Alternative Title
平成11年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書