二次イオン質量分析法を用いたナノ深さ表面層とナノ薄膜の分析評価に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 二次イオン質量分析法を用いたナノ深さ表面層とナノ薄膜の分析評価に関する研究
Title Transcription: ニジイオンシツリョウブンセキホウオモチイタナノフカサヒョウメンソウトナノハクマクノブンセキヒョウカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 東條二三代 [著]
Author Heading: 東條, 二三代トウジョウ, フミヨ
Publication, Distribution, etc.: [出版者不明]
Publication Date: [2007]
Publication Date (W3CDTF): 2007
Size: 30cm
Text Language Code: ja
Target Audience: 一般
Note (General): 名古屋大学大学院工学研究科2006年度博士論文
学位の種類: 博士(工学)
学位授与年月日: 2007-01-31
報告番号: 乙第6635号
学位記番号: 論工博第1682号
Related Material (URI): https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB1311814X#entity
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : CiNii Research
Original Data Provider (Database): CiNii Books
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NCID: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB1311814X : BB1311814X