MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ

Material type: 図書

Author: 山崎二郎研究代表

Publisher: [九州工業大学]

Publication date: 2007.6

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 30cm

NDC: -

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Note (General)：: 課題番号: 17360143平成17年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書研究分担者: 本田崇, 竹澤昌晃...

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科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ
Title Transcription: MEMS ニヨルジセイザイリョウノコウアスペクトヒビサイカコウトジキ MEMS イヨウマイクロポンプ
Author/Editor: 山崎二郎研究代表
Author Heading: 山崎, 二郎ヤマサキ, ジロウ
本田, 崇ホンダ, タカシ
竹澤, 昌晃タケザワ, マサアキ
Publication, Distribution, etc.: [九州工業大学]
Publication Date: 2007.6
Publication Date (W3CDTF): 2007
Size: 30cm
Alternative Title: MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ
Place of Publication (Country Code): ja
Target Audience: 一般
Note (General): 課題番号: 17360143
平成17年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書
研究分担者: 本田崇, 竹澤昌晃
参考文献: 各論末
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https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282271762841472
Related Material (URI): https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB05972587#entity
Periodical Title: 科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282271762841472
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : CiNii Research
Original Data Provider (Database): CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NCID: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB05972587 : BB05972587