イオン注入による二酸化シリコン中のナノサイズシリコン微結晶の形成

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Material Type: 図書
Title: イオン注入による二酸化シリコン中のナノサイズシリコン微結晶の形成
Title Transcription: イオンチュウニュウニヨルニサンカシリコンチュウノナノサイズシリコンビケッショウノケイセイ
Author/Editor: 岩山勉 [著]
Author Heading: 岩山, 勉イワヤマ, ツトム
Publication, Distribution, etc.: [出版者不明]
Publication Date: [1995]
Publication Date (W3CDTF): 1995
Size: 30cm
Text Language Code: ja
Target Audience: 一般
Note (General): 名古屋大学大学院研究科1994年度博士論文
学位の種類: 博士(理学)
学位授与年月日: 1995-03-01
報告番号: 乙第4741号
副論文3編及び参考論文4編あり
Related Material (URI): https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB15067902#entity
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : CiNii Research
Original Data Provider (Database): CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NCID: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB15067902 : BB15067902