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強誘電体/絶縁膜/半導体ゲート構造における強誘電体層、絶縁層界面特性の改善

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強誘電体/絶縁膜/半導体ゲート構造における強誘電体層、絶縁層界面特性の改善

Material type
図書
Author
研究代表者 野田実
Publisher
[野田実]
Publication date
2003.9
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

研究課題番号: 12450147研究発表あり

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
キョウユウデンタイ ゼツエンマク ハンドウタイ ゲート コウゾウ ニ オケル キョウユウデンタイソウ ゼツエンソウ カイメン トクセイ ノ カイゼン
Author/Editor
研究代表者 野田実
Author Heading
野田, 実 ノダ, ミノル
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2003.9
Publication Date (W3CDTF)
2003
Size
30cm
Alternative Title
平成12年度〜平成14年度科学研究補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書