イメージングプレート・電子回折による半導体デバイスのゲッタリング機構の定量的解析

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Material Type: 図書
Title: イメージングプレート・電子回折による半導体デバイスのゲッタリング機構の定量的解析
Title Transcription: イメージングプレートデンシカイセツニヨルハンドウタイデバイスノゲッタリングキコウノテイリョウテキカイセキ
Author/Editor: 研究代表者友清芳二
Author Heading: 友清, 芳二トモキヨ, ヨシツグ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA12596881
Publication, Distribution, etc.: [九州大学]
Publication Date: 1997.3
Publication Date (W3CDTF): 1997
Size: 30cm
Alternative Title: 平成7年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 07455010
Place of Publication (Country Code): ja
Target Audience: 一般
Note (General): 研究分担者:松村晶
Related Material: 科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796573175552
Related Material (URI): https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA67674569#entity
Periodical Title: 科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796573175552
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : CiNii Research
Original Data Provider (Database): CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NCID: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA67674569 : BA67674569