超高真空走査電顕による半導体上の金属エピタクシー過程の原子像観察と局所解析

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Note (General)：: 平成4-5年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書研究課題番号: 04452035研究分担者: 長谷川修司, 霜越文夫

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Material Type: 図書
Title: 超高真空走査電顕による半導体上の金属エピタクシー過程の原子像観察と局所解析
Title Transcription: チョウコウシンクウソウサデンケンニヨルハンドウタイジョウノキンゾクエピタクシーカテイノゲンシゾウカンサツトキョクショカイセキ
Author/Editor: 研究代表者井野正三
Author Heading: 井野, 正三イノ, ショウゾウ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA03022950
長谷川, 修司ハセガワ, シュウジ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA07630313
Publication, Distribution, etc.: 井野正三
Publication Date: 1994
Publication Date (W3CDTF): 1994
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): ja
Target Audience: 一般
Note (General): 平成4-5年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書
研究課題番号: 04452035
研究分担者: 長谷川修司, 霜越文夫
Related Material (URI): https://ci.nii.ac.jp/ncid/BN11741095#entity
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : CiNii Research
https://cir.nii.ac.jp/
Original Data Provider (Database): CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NCID: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BN11741095 : BN11741095