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選択成長法によるシリコン基板上への集積形窒化物半導体デバイスの作製に関する研究

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選択成長法によるシリコン基板上への集積形窒化物半導体デバイスの作製に関する研究

Material type
図書
Author
澤木宣彦[ほか著]
Publisher
[出版者不明]
Publication date
2004.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
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Note (General):

課題番号:13305023研究分担者: 山口雅史, 田中成泰, 本田善央

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
センタク セイチョウホウ ニヨル シリコン キバンジョウ エノ シュウセキケイ チッカブツ ハンドウタイ デバイス ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
澤木宣彦[ほか著]
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2004.3
Publication Date (W3CDTF)
2004
Size
30cm
Alternative Title
平成13年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書