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単分子膜リソグラフィによる分子組織体と半導体回路の融合化

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単分子膜リソグラフィによる分子組織体と半導体回路の融合化

Material type
図書
Author
杉村博之研究代表
Publisher
[杉村博之]
Publication date
2005.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
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Note (General):

京都大学大学院工学研究科

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
タンブンシマク リソグラフィ ニヨル ブンシ ソシキタイ ト ハンドウタイ カイロ ノ ユウゴウカ
Author/Editor
杉村博之研究代表
Author Heading
杉村, 博之 スギムラ, ヒロユキ
京都大学大学院工学研究科 キョウト ダイガク ダイガクイン コウガク ケンキュウカ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2005.3
Publication Date (W3CDTF)
2005
Size
30cm
Alternative Title
平成14年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書 : 課題番号14205107