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Si中にイオン注入されたAs及びSbの酸化膜界面パイルアップ現象の解明

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Si中にイオン注入されたAs及びSbの酸化膜界面パイルアップ現象の解明

Material type
図書
Author
研究代表者 芝原健太郎
Publisher
[芝原健太郎]
Publication date
2000.2
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

課題番号: 09650358研究代表者: 芝原健太郎(広島大学ナノデバイス・システム研究センター助教授)研究分担者: 横山新...

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
Siチュウ ニ イオン チュウニュウ サレタ As オヨビ Sb ノ サンカマク カイメン パイル アップ ゲンショウ ノ カイメイ
Author/Editor
研究代表者 芝原健太郎
Author Heading
芝原, 健太郎 シバハラ, ケンタロウ
横山, 新 ヨコヤマ, シン
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2000.2
Publication Date (W3CDTF)
2000
Size
30cm
Place of Publication (Country Code)
ja