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超音波基板励振によるコーティング膜の残留応力制御法の開発

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超音波基板励振によるコーティング膜の残留応力制御法の開発

Material type
図書
Author
松室昭仁 [ほか著]
Publisher
[出版者不明]
Publication date
2005.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
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Note (General):

課題番号:15360052研究分担者: 福澤健二, 高橋裕, 小竹茂夫

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウオンパ キバン レイシン ニヨル コーティング マク ノ ザンリュウ オウリョク セイギョホウ ノ カイハツ
Author/Editor
松室昭仁 [ほか著]
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2005.3
Publication Date (W3CDTF)
2005
Size
30cm
Alternative Title
平成15年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書