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イオン注入用大電流低電圧動作定常イオン源の試作

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イオン注入用大電流低電圧動作定常イオン源の試作

Material type
図書
Author
吉川潔 研究代表者
Publisher
[吉川潔]
Publication date
1987.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
26cm
NDC
-
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Note (General):

京都大学原子エネルギー研究所

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
イオン チュウニュウヨウ ダイデンリュウ テイデンアツ ドウサ テイジョウ イオンゲン ノ シサク
Author/Editor
吉川潔 研究代表者
Author Heading
吉川, 潔 ヨシカワ, キヨシ
京都大学原子エネルギー研究所 キョウト ダイガク ゲンシ エネルギー ケンキュウジョ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
1987.3
Publication Date (W3CDTF)
1987
Size
26cm
Alternative Title
昭和61年度科学研究費補助金試験研究(2)研究成果報告書 : 研究課題番号 (60850068)