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ナノ非平衡構造を有する窒素吸収材料を用いたケミカル真空ポンプの開発と基礎物性

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ナノ非平衡構造を有する窒素吸収材料を用いたケミカル真空ポンプの開発と基礎物性

Material type
図書
Author
研究代表者 石原慶一
Publisher
[石原慶一]
Publication date
2008.5
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
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Note (General):

京都大学大学院エネルギー科学研究科

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ナノ ヒヘイコウ コウゾウ オ ユウスル チッソ キュウシュウ ザイリョウ オ モチイタ ケミカル シンクウ ポンプ ノ カイハツ ト キソ ブッセイ
Author/Editor
研究代表者 石原慶一
Author Heading
石原, 慶一 イシハラ, ケイイチ
京都大学大学院エネルギー科学研究科 キョウト ダイガク ダイガクイン エネルギー カガク ケンキュウカ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2008.5
Publication Date (W3CDTF)
2008
Size
30cm
Alternative Title
平成17年度~平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 : 17360369
Development of chemical vacuum pump using nitrogen absorption nano-materials