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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- キョク ビショウ デンシセン プローブ オ モチイタ ウモレタ キンゾク ハンドウタイ カイメン ノ コウゾウ ト ブッセイ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 田中信夫[ほか著]
- Author Heading
- 田中, 信夫 タナカ, ノブオ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 1995.3
- Publication Date (W3CDTF)
- 1995
- Size
- 30cm
- Alternative Title
- 平成5年度, 6年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書極微小電子線プローブを用いた"埋もれた"金属/半導体界面の構造と物性の研究