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大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御

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大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御

Material type
図書
Author
研究代表者 片岡俊彦
Publisher
[片岡俊彦]
Publication date
1999.4
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

課題番号: 08405014参考文献: p149-150

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
タイキアツ・コウシュウハ プラズマ プロセス ノ ジクウウカン ブンカイ ハッコウ ブンコウ ケイソク ト ソノ セイギョ
Author/Editor
研究代表者 片岡俊彦
Author Heading
片岡, 俊彦 カタオカ, トシヒコ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
1999.4
Publication Date (W3CDTF)
1999
Size
30cm
Alternative Title
平成8年度〜平成10年度科学研究費補助金基盤研究(A)(2)研究成果報告書