有機シリコン化合物を用いたプラズマCVDによる高分子基板へのシリカ膜形成に関する研究

Notes on use

Search by Bookstore

This page shows libraries in Japan other than the National Diet Library that hold the material.

Please contact your local library for information on how to use materials or whether it is possible to request materials from the holding libraries.

other

CiNii Research
Search Service
Paper
You can check the holdings of institutions and databases with which CiNii Research is linked at the site of CiNii Research.
Check the holdings of this book

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 有機シリコン化合物を用いたプラズマCVDによる高分子基板へのシリカ膜形成に関する研究
Title Transcription: ユウキシリコンカゴウブツオモチイタプラズマ CVD ニヨルコウブンシキバンエノシリカマクケイセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 手嶋勝弥 [著]
Author Heading: 手嶋, 勝弥テシマ, カツヤ
https://ci.nii.ac.jp/author/DA17140161
Publication, Distribution, etc.: [出版者不明]
Publication Date: [2003]
Publication Date (W3CDTF): 2003
Size: 30cm
Alternative Title: 有機シリコン化合物を用いたプラズマCVDによる高分子基板へのシリカ膜形成に関する研究
Text Language Code: ja
Target Audience: 一般
Note (General): 名古屋大学大学院工学研究科2002年度博士論文
学位の種類: 博士(工学)
学位授与年月日: 2003-03-25
報告番号: 甲第5884号
学位記番号: 工博第1768号
Related Material (URI): https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB13690070#entity
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : CiNii Research
Original Data Provider (Database): CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NCID: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB13690070 : BB13690070