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図書

近接場光を用いた超精密加工における工具工作物間距離の直接測定

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近接場光を用いた超精密加工における工具工作物間距離の直接測定

Material type
図書
Author
研究代表者 吉岡勇人
Publisher
工作機械技術振興財団
Publication date
2014.12
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

工作機械技術振興財団の第34次試験研究助成により行われた研究東京工業大学 精密工学研究所 精機デバイス部門 超微細加工研究分野試験研究期間: 平成25年7月1日〜平成26年6月30日...

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
キンセツバコウ オ モチイタ チョウセイミツ カコウ ニオケル コウグ コウサクブツカン キョリ ノ チョクセツ ソクテイ
Author/Editor
研究代表者 吉岡勇人
Author Heading
吉岡, 勇人 ヨシオカ, ハヤト
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2014.12
Publication Date (W3CDTF)
2014
Size
30cm
Place of Publication (Country Code)
ja