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医用低ドリフトモノリシック容量形圧力センサの開発

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医用低ドリフトモノリシック容量形圧力センサの開発

Material type
図書
Author
研究代表者 松尾正之
Publisher
[松尾正之]
Publication date
1987.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
26cm
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

研究課題番号: 60850075研究代表者: 松尾正之 (東北大学)

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
イヨウ テイドリフトモノリシック ヨウリョウケイ アツリョク センサ ノ カイハツ
Author/Editor
研究代表者 松尾正之
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
1987.3
Publication Date (W3CDTF)
1987
Size
26cm
Alternative Title
昭和61年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書(課題番号 60850075)
試験研究(2) 60850075 医用低ドリフトモノリシック容量形圧力センサの開発