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光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用

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光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用

Material type
図書
Author
研究代表者 山本正樹
Publisher
[山本正樹]
Publication date
2002.3
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
30cm
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

研究分担者: 羽多野忠, 柳原美廣

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウガク チョウハクマク オ モチイタ ナンXセン カンショウ ケイソクホウ ノ カイハツ ト セイミツ ケツゾウキョウ ノ ハンシャ ハメン ケイソク セイギョ ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
研究代表者 山本正樹
Author Heading
山本, 正樹 ヤマモト, マサキ
羽多野, 忠 ハタノ, タダシ
柳原, 美廣 ヤナギハラ, ミヒロ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2002.3
Publication Date (W3CDTF)
2002
Size
30cm
Place of Publication (Country Code)
ja