極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化

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Material Type: 図書
Title: 極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化
Title Transcription: キョクタンシガイ (EUV) コウゲンカイハツトウノセンシンハンドウタイセイゾウギジュツノジツヨウカ
Author/Editor: 三間圀興 [編]
Author Heading: 三間, 圀興ミマ, クニオキ
Publication, Distribution, etc.: 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
Publication Date: 2006.3-
Publication Date (W3CDTF): 2006
Size: 30cm
Alternative Title: 極端紫外EUV光源開発等の先進半導体製造技術の実用化
Place of Publication (Country Code): ja
Target Audience: 一般
Note (General): 文部科学省の委託業務として、大阪大学が実施した平成17-18年度の成果をとりまとめたもの
Related Material: 文部科学省リーディング・プロジェクト
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796877815296
Related Material (URI): https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA78455363#entity
Periodical Title: 文部科学省リーディング・プロジェクト
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000796877815296
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : CiNii Research
Original Data Provider (Database): CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NCID: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA78455363 : BA78455363