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SiGe選択エピタキシャル成長前の基板表面清浄化方法がHBT特性に与える影響の検討

SiGe選択エピタキシャル成長前の基板表面清浄化方法がHBT特性に与える影響の検討
Digital文書・図像類
清田, 幸弘, 小田, 克矢, 大植, 栄司, 速水, 礼子, 近藤, 将夫, 鷲尾, 勝由, 田邊, 正倫, 島本, 裕巳, 山口, 修, 稲田, 太郎, KIYOTA, Yukihiro, ODA, Katsuya, OHUE, Eiji, HAYAMI, Reiko, KONDO, Masao, WASHIO, Katsuyoshi, TANABE, Masamichi, SHIMAMOTO, Hiromi, YAMAGUCHI, Osamu, INADA, Taroh電子情報通信学会2000-10-13電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス374p.39-43
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  • Author Heading清田, 幸弘 小田, 克矢 大植, 栄司 速水, 礼子 近藤, 将夫 鷲尾, 勝由 田邊, 正倫 島...

映像情報メディア学会技術報告

映像情報メディア学会技術報告
Paper雑誌雑誌タイトル
映像情報メディア学会1997-2023<Z16-1010>
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電子情報通信学会論文誌 C エレクトロニクス

電子情報通信学会論文誌 C エレクトロニクス
Paper雑誌雑誌タイトル
電子情報通信学会 編電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ2000-2014<Z16-607>
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電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報

電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
Paper雑誌雑誌タイトル
電子情報通信学会1987-2020<Z16-940>
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