with the scientific support of GRESSI (Grenoble Submicron Silicon), INPG (Institut National Polytechnique Grenoble) ; with the financial help of CEA-LETI (Laboratorie d'Electronique, de Technologie et d'Instrumentation ... [et al.] ; sponsorship of IUVSTA (International Union for Vacuum Science, Technique and Applications), Ministère de l'Education nationale, de l'Enseignement supérieue et de la Recherche, IEEE-EDSSociété Française du Vide1997