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High-order resonance of single-crystal diamond MEMS with high-quality factor at high temperatures

Paper文書・図像類

Guo Chen, Zilong Zhang, Keyun Gu, Liwen Sang, Satoshi Koizumi, Masaya Toda, Yasuo Koide, Zhaohui Huang, Meiyong LiaoIEEE2024-05-022024 IEEE 19th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)p.1-4

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Author Heading...atoshi Koizumi Masaya Toda Yasuo Koide Zhaohui Huang Mei...

Chemical and biological sensors using deflection of Si microcantilever decorated by organic thin films

Paper博士論文

Masaya Toda [著][Masaya Toda][2007]<UT51-2007-D617>

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電気学会論文誌 E センサ・マイクロマシン部門誌

Paper雑誌雑誌タイトル

電気学会1995-<Z16-B380>

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電気学会研究会資料 CHS

Paper雑誌雑誌タイトル

電気学会2000-<Z74-C93>

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電気学会研究会資料 MSS

Paper雑誌雑誌タイトル

電気学会2000-<Z74-C94>

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International journal of automation technology

Paper雑誌雑誌タイトル

Fuji Technology Press2007-<Z78-A598>

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電気学会研究会資料 MAG

Paper雑誌雑誌タイトル

マグネティックス研究会 [編]電気学会[19--]-<Z43-234>

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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集

Recording Media雑誌電子資料雑誌タイトル

電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]Institute of Electrical Engineers of Japanc2009-<YH247-299>

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Japanese journal of applied physics : JJAP

PaperDigital雑誌雑誌タイトル

The Japan Society of Applied Physics2008-<Z53-A375>

Available onlineNational Diet Library

電気学会研究会資料 PHS

Paper雑誌雑誌タイトル

電気学会2000-2018<Z74-C85>

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