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- Subject Heading超高硬度材料 薄膜化 2層タ-ゲツト 熱電特性 大強度パルス軽イオンビ-ム パルスイオンビ-ム蒸着法 アブレ-シヨンプラズマ 飛翔体加速
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- Subject Headingパルスイオンビーム蒸着法 強誘電体 薄膜生成 イオンビームアブレーシヨン プラズマプ...
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- Subject Heading超伝導材料の薄膜化 エピタキシヤル成長 スパツタリング蒸着法 イオンビーム蒸着法 非晶質構造 微結晶構造 電子顕微鏡