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図書

大強度イオンビームアブレーシヨン法による強誘電体薄膜の生成と成膜プロセスの解明

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大強度イオンビームアブレーシヨン法による強誘電体薄膜の生成と成膜プロセスの解明

Call No. (NDL)
Y151-H08455139
Bibliographic ID of National Diet Library
000007011817
Material type
図書
Author
八井, 浄, 長岡技術科学大学
Publisher
-
Publication date
1996-1997
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ダイ キョウド イオンビームアブレーシヨンホウ ニ ヨル キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ セイセイ ト セイマク プロセス ノ カイメイ
Author/Editor
八井, 浄, 長岡技術科学大学
Author Heading
八井, 浄 ヤツイ, キヨシ
Publication Date
1996-1997
Publication Date (W3CDTF)
1996
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
パルスイオンビーム蒸着法 パルスイオンビームジヨウチヤクホウ
強誘電体 キヨウユウデンタイ
薄膜生成 ハクマクセイセイ
イオンビームアブレーシヨン イオンビームアブレーシヨン
プラズマプロセス プラズマプロセス