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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ダイ キョウド イオンビームアブレーシヨンホウ ニ ヨル キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ セイセイ ト セイマク プロセス ノ カイメイ
- 著者・編者
- 八井, 浄, 長岡技術科学大学
- 著者標目
- 八井, 浄 ヤツイ, キヨシ
- 出版年月日等
- 1996-1997
- 出版年(W3CDTF)
- 1996
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- パルスイオンビーム蒸着法 パルスイオンビームジヨウチヤクホウ強誘電体 キヨウユウデンタイ薄膜生成 ハクマクセイセイイオンビームアブレーシヨン イオンビームアブレーシヨンプラズマプロセス プラズマプロセス