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レーザー冷却法を用いた異方性ドライエツチングプロセスの開発

レーザー冷却法を用いた異方性ドライエツチングプロセスの開発
Paper図書
安武, 潔, 大阪大学1997-1999<Y151-H09555046>
National Diet Library
  • Subject Heading半導体ドライエツチング Fラジカルビーム レーザー冷却 NF3プラズマ レーザーコリメーシヨン

コリメーシヨンパツタに関する基礎的研究

コリメーシヨンパツタに関する基礎的研究
Paper図書
原, 徹, 法政大学1994-1995<Y151-H06650371>
National Diet Library
  • Subject Headingスパツタ コリメーシヨン ターゲツト チタンマク コンフオマリテイ オーミツクコンタ...

光による生体内構造撮影法の基礎研究

光による生体内構造撮影法の基礎研究
Paper図書
清水, 孝一, 北海道大学1989-1991<Y151-H01550298>
National Diet Library
  • Subject Heading光CT 生体透視 光散乱 近赤外光 断層撮影 拡散近似 コリメーシヨン 医用生体工学

2本の回転軸の回転同期誤差の精密計測システムの試作

2本の回転軸の回転同期誤差の精密計測システムの試作
Paper図書
清野, 慧, 東北大学1990-1991<Y151-H02555032>
National Diet Library
  • Subject Heading回転同期誤差 精密測定 ポリゴン鏡 オートコリメーシヨン 差動測定 光学的演算 歯車のかみ合いの誤差 高速回転軸

任意形状鏡面の迅速・高精度測定のための差動オートコリメーシヨンプローブの開発

任意形状鏡面の迅速・高精度測定のための差動オートコリメーシヨンプローブの開発
Paper図書
鎌田, 治, 東北大学1988-1989<Y151-S63850028>
National Diet Library
  • Subject Heading半導体レーザ 半導体位置検出素子 オートコリメーシヨン 鏡面形状 走査型測定 差動測定 オンマシン測定

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