レーザー冷却法を用いた異方性ドライエツチングプロセスの開発

• Material Type: 図書
• Title: レーザー冷却法を用いた異方性ドライエツチングプロセスの開発
• Title Transcription: レーザー レイキャクホウ オ モチイタ イカタセイ ドライエツチングプロセス ノ カイハツ
• Author/Editor: 安武, 潔, 大阪大学
• Author Heading: 安武, 潔 ヤスタケ, キヨシ
• Publication Date: 1997-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 半導体ドライエツチング ハンドウタイドライエツチング; Fラジカルビーム Fラジカルビーム; レーザー冷却 レーザーレイキヤク; NF3プラズマ NF3プラズマ; レーザーコリメーシヨン レーザーコリメーシヨン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09555046
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09555046
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007056471; http://id.ndl.go.jp/bib/000007056471
• Bibliographic Record Category (NDL): 214